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ナノテック株式会社　NANO TECH CO.,LTD.

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ナノテック株式会社はSiC・GaN枚葉洗浄装置の革新を目指します。自然との調和を尊重しながら、パワー半導体を含む化合物半導体分野の未来を切り拓きます。
SiC対応枚葉洗浄装置（ラップ・研磨後ウエハの洗浄に使用されます）の概要と仕様。
GaN対応枚葉洗浄装置（研磨後ウエハの洗浄に使用されます）の概要と仕様。